Component: (Network and Table) | |
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Network | 30703 - Disclosure - Inventories, net (Tables) (http://www.axcelis.com/role/DisclosureInventoriesNetTables) |
Table | (Implied) |
Reporting Entity [Axis] | 0001113232 (http://www.sec.gov/CIK) |
Inventories, net | Period [Axis] | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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2016-01-01 - 2016-12-31 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Inventories, net | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Schedule of components of inventories |
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